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サーマル方式PIマスフローモジュール SEC-Z700X Series

サーマル方式PIマスフローモジュール SEC-Z700X Series 

マスフローコントローラ前後に圧力変動が生じた場合でも安定した流量制御を行います。マルチチャンバーでのガスラインは、圧力変動によるマスフローコントローラのクロストーク現象が発生し易い為、ラインレギュレータ、圧力センサー、フィルターが取り付けられています。新型マスフローコントローラSEC-Z700 series、CRITERION D200 seriesは、圧力変動の影響を受けにくく、常に安定した流量制御を実現した製品です。流量出力だけでなく、温度、圧力の出力機能も装備しています。通信は、アナログ、RS-485、DeviceNet™の各種インターフェースをラインアップ。ガスラインの高性能化、コンパクト化、軽量化に最適です。

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商品コード: SEC-Z700X Series

サーマル方式PIマスフローモジュール SEC-Z700X Series

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製品の特長

●Multi Gas / Multi Range対応                            ユーザーサイドでのガス種変更・フルスケール流量変更が可能
●フルレンジ高速応答1秒以内 Variable PID搭載
●Regulator, Transducer, Filterが不要でガスラインのコンパクト化に貢献
●1次圧、2次圧変動の影響なし
●Inlet Pressure Sensor 搭載
●Multi Display 機能搭載
●高精度 
  1%S.P.での流量精度保証
●ウルトラクリーン メタルダイヤフラム、オールステンレス、内面研磨 標準
●既存MFCとの信号互換を確保 
●ネットワーク機能を内蔵し、Digital信号による制御を行います

ご利用ガイド

お問い合わせ先
東海理機 株式会社 本社営業部 TEL:054-248-4361

横浜営業所  TEL:045-624-8567   静岡営業所  TEL:054-246-5161
沼津営業所  TEL:055-923-8555   島田営業所  TEL:0547-38-3481
富士営業所  TEL:0545-53-8531   浜松営業所  TEL:053-421-4151
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