分析・解析装置関連

超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能  

±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現しています。

堀場エステック 製品詳細ページ

商品コード: DZ-100 Series

超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series

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製品の特長

・高速応答
・軽量化・コンパクト
・高精度
・集積化対応
・通信方式
・一次側供給圧力範囲の拡大
・PI機能 (Pressure Insensitive)
・マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
・自己診断機能 G-Life

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