ウェハ裏面圧力制御システム GR-511F｜【東海理機株式会社】静岡の計測器・測定器の販売商社

分析・解析装置関連

ウェハ裏面圧力制御システム

GR-511Fは、ウェハ裏面の温度制御に不可欠なヘリウムガスやアルゴンガスなどの伝熱性ガスの圧力制御を安定性良く、高精度に行います。高速・高分解ピエゾバルブとマスフローセンサを搭載しており、正確・安定的に微小な圧力制御を行うのみならず、流量計測も可能です。　　

堀場エステック製品詳細ページ

商品コード： GR-511F

ウェハ裏面圧力制御システム GR-511F

製品の特長

・実績のある静電容量式圧力センサ採用により、低圧での精密な圧力制御が可能。
・圧力制御中のガス流量を高精度にモニタリング。

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